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石墨坩堝在熱場(chǎng)系統(tǒng)中的功能有哪些?

發(fā)布作者:jcadmin      發(fā)布時(shí)間:2023年10月28日

     直拉法出產(chǎn)單晶硅是現(xiàn)在制備單晶硅的最首要辦法,熱場(chǎng)體系是硅資料成晶的最重要的條件之一,熱場(chǎng)的溫度梯度分布直接影響著是否能順暢地拉出單晶和操控單晶的質(zhì)量好壞。因此熱場(chǎng)的設(shè)計(jì)和改進(jìn)對(duì)一個(gè)有競(jìng)爭(zhēng)力的拉晶廠家來(lái)說(shuō)非常重要。
石墨坩堝在熱場(chǎng)體系中的功用 :
    在拉制單晶的過(guò)程中,石墨坩堝作為要害核心部件的首要作用有如下幾點(diǎn): 
    (1)高溫承載作用:裝滿多晶硅資料的石英坩堝要置于石墨坩堝里邊,石墨坩堝要承載石英坩堝和多晶硅等資料的重量,確保高溫石英坩堝變軟后,資料不會(huì)走漏出來(lái),并且在拉晶過(guò)程中要承載資料做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),因此,對(duì)其力學(xué)功用要求比較高;
    (2)傳熱作用:坩堝經(jīng)過(guò)自身優(yōu)秀的導(dǎo)熱功用,傳導(dǎo)多晶硅資料融化所需的熱量,融化溫度在1600℃左右,因此,坩堝有必要要有杰出的高溫導(dǎo)熱功用;
    (3)安全作用:在緊急情況停爐時(shí),因?yàn)槎嗑Ч枥鋮s時(shí)體積脹大(大約為10%),坩堝短時(shí)間內(nèi)會(huì)接受很大的應(yīng)力,因石墨資料自身的強(qiáng)度較低,石墨坩堝在這種情況下一般都會(huì)炸裂而報(bào)廢,乃至損壞相鄰部件乃至整個(gè)熱場(chǎng),因此石墨坩堝強(qiáng)度較低是單晶出產(chǎn)安穩(wěn)的危險(xiǎn),急需更新?lián)Q代,運(yùn)用契合拉晶需求的抗折強(qiáng)度大的產(chǎn)品。



     

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