石墨治具的使用要求
發布作者:jcadmin 發布時間:2024年03月18日
石墨治具的運用要求
石墨治具是用于在半導體制造過程中承載、固定和維護芯片的石墨制件。在運用過程中,需求滿意以下要求:
1.石墨治具應具有出色的導熱性能,以保證芯片在作業過程中散熱出色。
2.石墨治具的外表應光滑、平整,無劃痕或凸起,防止對芯片構成危害。
3.石墨治具的規劃應符合所承載的芯片尺寸和形狀,以保證其穩定性和承載才能。
4.運用前應對石墨治具進行預熱處理,以削減熱沖擊對其的影響。
5.運用后應對石墨治具進行清潔和維護,以堅持出色的作業情況和延伸其運用壽命。