半導體工業(yè)燒結(jié)用石墨模具材料的選擇是什么
發(fā)布作者:jcadmin 發(fā)布時間:2024年03月12日
半導體工業(yè)燒結(jié)用石墨模具資料的選擇
燒結(jié)用石墨模具由于高純石墨具有耐高溫、純度高、高溫下標準安穩(wěn)、耐熱沖擊功用好等特征,所以在半導體工業(yè)中廣泛選用高純石墨制作各種燒結(jié)模具。
(1)電子器材燒結(jié)用石墨模具。石墨燒結(jié)模適用于各種類型的二極管、三極管、可控硅管等器材的管心燒結(jié),圖為部分燒結(jié)模具實例。選用高頻爐區(qū)熔法拉制單晶時,還選用石墨舟。
(2)各種絕緣子燒結(jié)模具。石墨模適用于各種類型的三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結(jié),電容器絕緣子燒結(jié),厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結(jié),超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結(jié)模具等。
半導體工業(yè)用石墨模具資料的選擇
半導體工業(yè)對所用石墨資料要求其純度越高越好,特別是直接與半導體資料觸摸的石墨器材
如坩塌、燒結(jié)用石墨模具等,雜質(zhì)含量多會污染半導體資料,因此不光對所用石墨原資料的純度要嚴加控制,并且還要經(jīng)高溫石墨化處理,使其灰分降到最低程度。
半導體工業(yè)要求所用石墨資料顆粒度要細,顆粒度細的石墨不光簡略到達加工精度并且高溫強度高、損耗小,特別是燒結(jié)用石墨模具要求加工精度很高。由于半導體工業(yè)所用的石墨器材(包含加熱器和燒結(jié)模)都需求承受重復加熱和冷卻進程,為了前進石墨器材的運用壽數(shù),要求所用石墨資料在高溫下具有杰出的標準安穩(wěn)性和耐熱沖擊功用。為了滿意上述各項要求,目前我國出產(chǎn)了一系列適用于半導體工業(yè)所運用的石墨資料。